EUV-Lithographie und freezer: was sie gemeinsam haben

1. Schritt 1. EUV-Lithographie — hat als Teil — Mirror. Mirror optics (lenses absorb EUV).
2. Schritt 2. Mirror — ist Teil von — Vacuum flask. The silvering reflects heat radiation.
3. Schritt 3. Vacuum flask — nutzt — Thermal insulation. Insulation.
4. Schritt 4. Thermal insulation — ist Teil von — Freezer. Polyurethane foam in the walls.

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