Litografía EUV y congelador: qué tienen en común
- Paso 1. Litografía EUV — tiene como parte — Espejo. Mirror optics (lenses absorb EUV).
- Paso 2. Espejo — forma parte de — Termo. The silvering reflects heat radiation.
- Paso 3. Termo — utiliza — Aislamiento térmico. Insulation.
- Paso 4. Aislamiento térmico — forma parte de — Congelador. Polyurethane foam in the walls.