EUV-Lithographie und paper machine: was sie gemeinsam haben
- Schritt 1. EUV-Lithographie — nutzt — Plasma. The source is a tin plasma.
- Schritt 2. Plasma — wird verwendet in — Plasma cutting. Plasma.
- Schritt 3. Plasma cutting — hat als Teil — Kompressor. Supplying the plasma gas.
- Schritt 4. Kompressor — umfasst — Supercharger. A supercharger.
- Schritt 5. Supercharger — hat als Teil — Riemenantrieb. Belt-driven from the crankshaft.
- Schritt 6. Riemenantrieb — ist Teil von — Paper machine. The wire moves on belts and rolls.