Lithographie EUV
concept · 2019 · Ère numérique
Photolithography in extreme ultraviolet for processes of a few nanometres.
De quoi c'est fait
- Mirror — a pour partie. Mirror optics (lenses absorb EUV).
Principes et matériaux utilisés
- Plasma — utilise. The source is a tin plasma.
Où c'est utilisé
- Microprocessor — est utilisé dans. Leading-edge processors.
De quel type c'est
- Photolithography — est un type de. Lithography.
Quelle importance
Place au classement d'importance des inventions : 1135 sur 2848, score 51.9 sur 100. Liens directs avec d'autres objets : 4 ; domaines technologiques : 2 ; choses construites directement dessus : 1. Panthéon des inventions.
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