Litografia EUV
conceito · 2019 · Era digital
Photolithography in extreme ultraviolet for processes of a few nanometres.
De que é feito
- Mirror — tem como parte. Mirror optics (lenses absorb EUV).
Princípios e materiais que usa
- Plasma — utiliza. The source is a tin plasma.
Onde é usado
- Microprocessor — é utilizado em. Leading-edge processors.
Que tipo é
- Photolithography — é um tipo de. Lithography.
Quão importante é
Posição no ranking de importância das invenções: 1135 de 2848, pontuação 51.9 de 100. Ligações diretas com outros objetos: 4; campos tecnológicos em que aparece: 2; coisas construídas diretamente sobre ele: 1. Hall da fama das invenções.
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O que tem em comum com outras coisas
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