МЭМС
понятие · 1970 · Цифровая эра
Микроэлектромеханические системы — механика на кристалле кремния.
Какие принципы и материалы использует
- Кремний — изготовлено из. МЭМС вытравливают в кремнии.
Где используется
- Акселерометр — используется в. Современные акселерометры — МЭМС.
- Гироскоп — используется в. В телефонах — МЭМС-гироскопы.
- Микрофон — используется в. Микрофоны смартфонов — МЭМС.
- DLP-матрица — используется в. МЭМС-зеркала.