Из чего состоит EUV-литография

Фотолитография в жёстком ультрафиолете для техпроцессов в несколько нм.

• Зеркало — состоит из. Зеркальная оптика (линзы поглощают EUV).
• Плазма — использует. Источник — оловянная плазма.

EUV-литография

Открыть Evothings