EUV-литография
понятие · 2019 · Цифровая эра
Фотолитография в жёстком ультрафиолете для техпроцессов в несколько нм.
Из чего состоит
- Зеркало — состоит из. Зеркальная оптика (линзы поглощают EUV).
Какие принципы и материалы использует
- Плазма — использует. Источник — оловянная плазма.
Где используется
- Микропроцессор — используется в. Передовые процессоры.
К чему относится
- Фотолитография — является видом. Литография.