Lithographie EUV et freezer : ce qu'ils ont en commun

1. Étape 1. Lithographie EUV — a pour partie — Mirror. Mirror optics (lenses absorb EUV).
2. Étape 2. Mirror — fait partie de — Vacuum flask. The silvering reflects heat radiation.
3. Étape 3. Vacuum flask — utilise — Thermal insulation. Insulation.
4. Étape 4. Thermal insulation — fait partie de — Freezer. Polyurethane foam in the walls.

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