Litografia EUV e congelador: o que têm em comum
- Passo 1. Litografia EUV — tem como parte — Mirror. Mirror optics (lenses absorb EUV).
- Passo 2. Mirror — faz parte de — Vacuum flask. The silvering reflects heat radiation.
- Passo 3. Vacuum flask — utiliza — Thermal insulation. Insulation.
- Passo 4. Thermal insulation — faz parte de — Congelador. Polyurethane foam in the walls.