EUV-литография и солнечная батарея: что общего
- Шаг 1. EUV-литография — использует — Плазма. Источник — оловянная плазма.
- Шаг 2. Плазма — используется в — Ионный двигатель. Ионизированный газ.
- Шаг 3. Ионный двигатель — состоит из — Солнечная батарея. Электропитание.