Фотолитография
понятие · 1957 · Цифровая эра
Перенос рисунка схемы на кремний светом через маску.
Какие принципы и материалы использует
- Линза — использует. Проекционная оптика.
Где используется
- Интегральная схема — используется в. Рисунок схемы переносится светом.
История: из чего развилось и на что повлияло
- Фотоаппарат — развилось из. Фотографический процесс, перенесённый на кремний.
К чему относится
- EUV-литография — включает вид. Литография.